ZUVERLÄSSIGE COMPUTERGEHIRNE

Halbleiter-Bauelemente – umgangssprachlich oft Platinen genannt – sind nicht nur in Computern oder Mobiltelefonen unverzichtbar. Auch die Bordelektronik von Autos, die Unterhaltungselektronik oder Haushaltsgeräte sind darauf angewiesen. Die Herstellung von Halbleiter-Bauelementen ist einer der komplexesten Prozesse, die man in der Industrie kennt: In einer Kette von Beschichtungs-, Lithographie-, Ätz- und Dotierschritten erhält der so genannte Wafer feine Strukturen. Dabei werden neben großen Mengen an reaktionsträgen Gasen (Inertgasen) je nach Verfahren auch verschiedene hochreine Reaktivgase als Ätz- oder Dotiermittel eingesetzt.