LEITENDE AUFGABEN

Gase spielen bei der Produktion von Halbleiter-Bauelementen – die sich z. B. in Computern und Mobiltelefonen finden – eine entscheidende Rolle.

Die Gase kommen hier an verschiedenen Stellen und in Abhängigkeit vom jeweiligen Herstellungsverfahren zum Einsatz. So werden große Mengen an reaktionsträgen Gasen, aber auch verschiedene Reaktivgase benötigt. Auch bei der Produktion von Glasfasern, Solarzellen und Flachbildschirmen sowie in der Nanotechnologie haben Gase einen festen Platz. Damit die fertigen Produkte sicher und störungsfreie funktionieren, werden höchste Ansprüche an die Reinheit der Gase und die Qualität der Gasversorgungssysteme gestellt.